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| Extra12RR ファインFPC・タッチパネル業界待望のフレキシブル基板量産用R to Rモデル |
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250mmから500mm幅までのロールtoロールに対応。永年培ってきたDIのノウハウを結集し、ワンパス＆マスクレスを実現。マスク起因の不良とマスクの段取り・管理がゼロになるため、生産性と歩留まりが大幅に向上します。 | |||
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L/S=12μmの高解像性※1を実現。次世代FPC基板のファイン水準に応えます。 ※1使用するドライフィルム・プロセス条件による |
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| 高剛性フレームと高性能ステージにより、位置決め精度±6μｍを実現。さらに要求精度や目的に合わせたアライメント機能が選択でき、高難度な合わせ精度が要求されるFPCやタッチパネル基板の製造に効果を発揮します。 | |
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| 各種キャリブレーションを自動で行い、装置を安定稼働させます。 | |
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■ 600mm以上の長尺基板露光 ■ アライメントなしの基板に対応するエッジアライメント ■ 枚葉基板を繋いだロールへの対応 ■ 3インチ/6インチコア切り替え |
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