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FDi-5 L/S=5μmに対応した次世代パターン用自動機のフラッグシップモデル
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5μm対応の高解像・高精度光学系を開発し、露光ステージを一新。装置全体で温度管理をすることにより解像性と精度を極限まで高めました。位置合わせ精度|Ave.|+3σ ≦ 3.5μmは、DI機として世界最高です。
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新型の超高速描画エンジンによりデータの転送速度と処理速度が格段にアップ。次世代パッケージ全般の微細配線対応装置として80面/時の生産性を実現しました。
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薄型基板のうねりや凹凸に追従するオートフォーカス機能を標準搭載しています。搬送中の基板のダメージを軽減する新型搬送機も採用しました。
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装置全体をチャンバー化して外部環境による装置内部への影響を低減。また搬送工程の基板サイズ切り替えを自動化し、人が触れる段取りを削減しました。こうしてパーティクル流入を防ぎクリーン度の向上と安定化を実現しています。
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DI機で初の0.25umピッチのデータ分解能を有し、線幅の安定性を向上しました。当社独自のベクターエンジンにより、分解能を上げても露光時間に影響はありません。
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| ■ 基板厚み計測機能 |
■ D-A-Tアルゴリズム |
| ■ ナンバリング |
■ マルチアライメントシステム |
| ■ バーコード描画 |
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