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  照射材料に最適なＵＶ光をコンベアで搬送しながら照射する装置です。 |
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  狭い照射範囲へのＵＶ光の照射 小規模な照射実験等、各種のＵＶ照射灯具です。 |
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  低圧UVランプから放射する254nmのUVを利用し、ウエハ素子に蓄積された電荷を効率よく除去し、素子の特性を改善します。 |
  基板表面に残存する有機物にUV光を照射して、非接触で残存有機物を除去する装置です。 |
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  特殊無水銀UVランプより放射されるUV光によって、非接触で残存有機物を除去し、「表面改質」を行う装置です。 |
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  照射材料に最適なＵＶ光をコンベアで搬送しながら照射する装置です。 |
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