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製品情報

Contents
放電ランプ/光源ユニット
UV-LED/光源ユニット
福祉医療衛生機器
UV照射装置
電子化電源シリーズ
小型灯具シリーズ
UVイレーサー
UVドライプロセッサー
毛細管型超高圧UVランプ搭載の光源
高圧UVランプ/メタルハライドランプ搭載の光源
UVコンベア
UV計測器
ダイレクト露光装置
半導体用露光装置
PPS Series
コンタクト露光装置
ホーム製品情報 | UV照射装置

UV照射装置


電子化電源シリーズ
電子化電源シリーズ

照射材料に最適なUV光をコンベアで搬送しながら照射する装置です。

小型灯具シリーズ
小型灯具シリーズ

狭い照射範囲へのUV光の照射 小規模な照射実験等、各種のUV照射灯具です。

UVイレーサー
UVイレーサー

低圧UVランプから放射する254nmのUVを利用し、ウエハ素子に蓄積された電荷を効率よく除去し、素子の特性を改善します。

UVドラィプロセッサー
UVドラィプロセッサー

基板表面に残存する有機物にUV光を照射して、非接触で残存有機物を除去する装置です。

超高圧ランプ搭載の光源
超高圧ランプ搭載の光源


高圧水銀ランプ/メタルハライドランプ搭載の光源
高圧水銀ランプ/メタルハライドランプ搭載の光源


UVコンベア
UVコンベア

照射材料に最適なUV光をコンベアで搬送しながら照射する装置です。


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