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放電ランプ/光源ユニット


無電極ランプ

放電管の内部に電極を持たない、マイクロ波放電方式のランプです。点灯姿勢が自由で、被照射物の温度上昇が少ない特徴があります。


◆ 特 徴

・  ピーク照度が高い
・  ワークの温度上昇が少ない
・  点灯姿勢が自由
・  瞬時点滅が可能
・  長寿命

焦点面での照度プロファイル(6kW灯具中央)

ワークの温度上昇

◆ 代表的な発光スペクトル

水銀ランプ

380nm強化ランプ

450nm強化ランプ

420nm強化ランプ
◆ 無電極ランプシステム(実験、開発用途)

 QRE-4013(30mm ウェハー用均一照射装置)





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