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製品情報
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放電ランプ/電源装置
| 無電極ランプ
放電管の内部に電極を持たない、マイクロ波放電方式のランプです。点灯姿勢が自由で、被照射物の温度上昇が少ない特徴があります。
◆ 特 徴
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ピーク照度が高い
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ワークの温度上昇が少ない
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点灯姿勢が自由
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瞬時点滅が可能
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長寿命
◆ 代表的な発光スペクトル
◆ 無電極ランプシステム(実験、開発用途)
QRE-4013(30mm ウェハー用均一照射装置)