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放電ランプ/光源ユニット


エキシマUVランプ

石英管の内側電極と外側電極の間に高周波電圧を印加して、放電管内の放電ガス特有のスペクトルを発光するランプです。表面の高速な改質、洗浄が可能です。


◆ 特 徴

当社のエキシマUVランプは、独自に開発した高効率なUV光源で各種材料の表面改質、精密洗浄、光励起プロセス用として、高スループット化を実現します。
発光長最大2500mmまでのものをご用意できます。

◆ 代表的な発光スペクトル


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