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放電ランプ/光源ユニット


低圧水銀ランプ

点灯中の内部圧力が100Paを超えない金属蒸気放電ランプです。表面洗浄、改質に有効であり、照射によってダメージが生じないメリットがあります。


◆ 特 徴

・  185nm、254nm紫外線を効率よく放射し、光クリーニング、フォトレジストアッシングやハードニング、光CVDなどに利用されます。また、超純水の製造にも有効です。
・  オゾン発生用ランプ、オゾンフリーランプのどちらもご用意できます。
・  U字型、ストレート型、面照射型の3種形状のものを取り揃えており、また特殊形状にも対応可能です。
・  発光長最大2500mmまでのものをご用意できます。

◆ 代表的な発光スペクトル

オゾン発生タイプ

オゾンフリータイプ

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