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紫外線を利用するUV照射装置の光量を管理するための測定器です。制御信号接点出力を備えていますので、UV照射装置等で露光量を制御する目的に使用することができます。 |
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紫外線露光用の制御信号を出力できる紫外線光量計です。 |
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10チャンネルの光量設定、光量測定、照度測定、タイマー設定、時間計測などのマルチ機能を備えています。 |
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光量測定中に、照度表示と時間表示に切り替えが可能です。 |
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機器組込型UV-M10-Pと卓上型UV-M10-Sをお選びいただけます。 |
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受光器は、ご使用されている（ご使用予定の）光源とレジスト等の感度にあわせてＵＶ−２５，３５，４２用をご選択いただきます。ただし電子回路（プリント）基板の製造工程でお使いの場合にはＵＶ−ＳＮ２５，ＵＶ−ＳＮ３５，ＵＶ−ＳＮ４２を、半導体、液晶用基板の製造工程でお使いの場合にはＵＶ−ＳＤ２５，ＵＶ−ＳＤ３５，ＵＶ−ＳＤ４２をご選択されるように推奨します。 |
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ＳＮ型は古くから当社製の露光装置や照射装置等をお使いいただいているお客様に広く採用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。
ＳＤ型は半導体や液晶用基板の製造プロセスの現場で、すでに他社製の照度計をお使いのお客様が、それらの計測器とのデータの互換性確保を重視される場合（当社製の露光装置でも投影型露光装置や液晶基板用の周辺露光装置にはＳＤ型が採用されています）や、全く新規に照度計などをお使いになられるお客様に推奨しています。
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SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値（当社計測グループで校正用の放射源として使用している高圧ＵＶランプの365nmの輝線を同一の測定条件で測定した時に示される照度の値：
mＷ/ｃｍ２ 表示）に対して３９％高く表示するように調整されています。 |
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可視光用の照度計・光量計（家庭・事務所・店舗・美術館などの明るさをＬＵＸ単位で測る照度計・光量計）と違い、紫外線用の照度計・光量計の全てに適用される規格は未だ整えられていません（ごく一部の限定された用途でＪＩＳ化の作業は行われているようです）。
各社の相対分光感度は、３６５nmの輝線を主体とした光源による照度を測定する目的で作られていても、測定のピーク波長（相対分光感度特性が１で示されている波長）を初めとして、短波長側（３００nm〜３１０nm前後）と長波長側（３８０nm〜４００nm前後）の立ち上り、立ち下ろしの波長とその前後の曲線が少しずつ異なっています。
またＣＯＳθ特性と言われている受光器の持つ受光角特性も理想曲線に近づけようと、設計面で努力されていますが、中々実現されていないのが現実です。
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受光器（交換式） |
UV-SD35（UV-SN35） |
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測定波長領域 |
310〜385nm |
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測定光量範囲 |
0.01〜999.9mJ/cm2 |
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測定照度範囲 |
| スイッチにて切換 |
レンジ1：0.01〜10.00mW/cm2 |
| レンジ2：0.1〜50.0mW/cm2 |
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入出力信号
（D-サブコネクター） |
入力（1）リモートスタート（2）リモートストップ
リレー接点出力（1）N. O.（スタートでON）（2）N. C.（3）アラーム |
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合わせ込み精度 |
当社UV標準器に対して±2％以内 |
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繰り返し精度 |
±2％以内 |
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