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2006/01/06

2005年10月19日付け　半導体工業新聞 「FPDインターナショナル特集号」に「大型基板対応周辺露光の技術動向」として当社製「タイトラー付き周辺露光装置EXF-1467-TLE」が紹介されました。

テーマ「第六世代を 睨んだ大型基板対応周辺露光最新技術動向」に沿ったレーザ・タイトラー付き周辺露光装置ＥＸＦ－１４６７－ＴＬＥの特徴と構造を説明しました。