ホーム ｜ 製品情報 ｜ ＵＶ照射装置 ｜ UV surface modifier シリーズ ｜ エキシマ照射装置 VUS-3100 濡れ性、親水性、密着性の向上に最適なVUV（真空紫外）光を照射する装置です。特殊無水銀UVランプを搭載しているため熱ダメージが少なく、様々な照射対象の「表面改質」を行う事ができます。 ◆ 特　徴 ・ 瞬時ON/OFF・単一波長・低温動作・水銀フリーが特徴の特殊無水銀UVランプを搭載しており、一般家庭のコンセントで使用出来るため、様々な場所で使用する事ができます。 ・ N2ガス導入・排気ポートを備えており、オゾンを発生させる事無く真空紫外光を照射する事が可能です。 ・ AC100Vコンセントでの使用が可能であり、様々な場所で利用できます。 ◆ 用　途 ■ 光洗浄 ■ 表面改質 ■ 親水化 ■ 光CVD ■ 静電気除去 ■ 低温直接接合 ■ 蛍光体評価 ■ オゾン生成 ■ 殺菌 ■ 脱臭 ◆ 仕　様   エキシマ照射装置 VUS-3100 使用ランプ 特殊無水銀UVランプ ランプ寸法 φ10mm×L200mm 照射距離 2mm 有効照射範囲 200mm×20mm 電源 AC100V 0.5A 50/60Hz共用 消費電力 100W×2灯 外形寸法 72(W)×380(D)×51(H)mm 重量 1.0kg 排気オゾン除去 N2パージ ◆ 関連製品 室内脱臭機能付き 器具除染用洗浄器　MCU-6030 ハンディエキシマ照射装置 VUE-3020-172 エキシマ照射装置 VUS-3100-R