ホーム ｜ 製品情報 ｜ 半導体用露光装置 ｜ PPS-8500 　PPS-8500 415 x 510mm/515 x 510mmに対応するパネル用モデル ■　2.5D,3Dパッケージ   ■　各種インターポーザ   ■　WL-CSP/FO-PLP     ■　可変レンズNA機構と等倍Dyson光学系 ■　52x33mmの大面積露光フィールド ■　最大8フィールドの効率的なレチクルデザイン ■　周囲のケミカルとレジストアウトガスから光学系をプロテクト ■　薄ウェハ・TAIKOウェハ・反りウェハなどに柔軟に対応する搬送系   ■ 露光波長 　ghi線,gh線,i線 ■ 解像度 　2μm L/S (2μmt） ■ 焦点深度 　≧10μm ■ 初期照度 　≧2700mW/cm2 ■ 照度分布 　≦ ３％ (ghi線) ■ 露光フィールド 　52 x 33 mm ■ オーバーレイ精度 （自己重ね評価） 　≦ 1.0μm (|AVE|+3σ) ■ 適応ウェハ 　415 x 510mm/515 x 510mm ■ 装置寸法・重量 　4800(D) X 3000(W) X 　2500(H) / 11000Kg