露光装置:EXP-2700
bg exp-2700 02
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고정도 SR용

 

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워크 사이즈(표준 또는 대형)

광원 타입(산란광 또는 평행광)

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위치 결정 정도 향상
    • 기존기(EXP-2001B)에 비해 워크와 마스크의 위치 결정 정도가 대폭 향상되었습니다.
고출력 램프 채용
    • 신규개발 고출력 램프를 사용함으로써, 노광 시간을 대폭 단축할 수 있게 되었습니다.
절차의 간략화
    • 소각 glass의 경량화, 절차 정보의 레시피화 등, 당사 최신 기종과 같은 기구를 채용함으로써, 절차 시간의 단축을 실현했습니다.
대형 기판 대응(E타입)
    • 업계 요구에 따라 최대 28.5"x24.5"까지의 대형 기판 대응 타입을 출시했습니다.
평행광원형
  • 고정화에 대응하기 위해,평행광원 타입을 릴리스.
    고조도 Short arc UV 램프를 채용하여 생산성도 향상됩니다.
 
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제품 사양

Specification

형식 EXP-2700S EXP-2700P EXP-2700E EXP-2700PE
기판 사이즈 (G)25"x21" ~ 13"x11.8"
(W)26"x22" ~ 13"x11.8"
28.5"x24.5" ~ 15.7"x13"
기판 두께 0.04mm ~ 2.4mm (옵션 : ~ 3.2mm)
위치 정도 ±3μm(반복 정도)
사이클 타임 9.5초(진공 대기시간 2초 포함)+노광시간 10.5초 (진공 대기시간 2초 포함) + 노광시간
광학계 산란광 평행광 산란광 평행광
광원 메탈 하라이드 UV 램프 12kWx2 Short arc UV 램프 8kWx2 메탈 하라이드 UV 램프 12kWx2 Short arc UV 램프 10kWx2
조도 분포 (G) 620 x 520mm : 85% (G) 610 x 510mm : 94% 710 × 610mm
(W) 645 x 545mm : 80% (W) 620 x 520mm : 94% 85% 90%
초기 조도(최대) 105 mW/c㎡ (G) 80 mW/c㎡
(W) 65 mW/c㎡
95 mW/c㎡ 76 mW/c㎡
노광 방식 진공 밀착 방식
반송 방법 블로워+흡착판
온습조기 표준 장비
장치 외형 치수(본체) 4704(W) × 2235(D) × 2231(H)mm 4704(W) × 2745(D) × 2495(H)mm 5184(W) × 2370(D) × 2231(H)mm 5184(W) × 3177(D) × 2495(H)mm
  옵션 대응
자동 마스크
클리닝기구
내장 클린 롤러
반송 방법 단면흡착패드방식
마스크 타입 glass 마스크 대응

 

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