하이엔드 기판용

대 사이즈 워크 지원 : 최대 660x558mm

고조도 램프 탑재: 노광시간 25% 단축

HEPA 필터, 마스크 필름/노광 스테이지의 클리닝 기구를 표준 장비

고생산성

• ORC 자체 개발한 8kW Short arc UV 램프 탑재로, 초기 조도 85mW/c㎡를 실현.노광 시간을 당사 기존 모델보다 약 25% 단축했습니다.

클린대응(클래스100)

• HEPA 필터를 반송 기구부와 노광실에 탑재.다운플로의 최적화를 도모하여 미세한 파티클을 배제합니다.또한 신규개발 클리닝 기구를 통해 마스크필름, 노광스테이지의 이물질을 제거합니다.

고해상성

• 오랜 세월 길러온 ORC의 광학기술에 의해, 드라이 필름으로 L/S12μm, SRO 50μm의 고해상력입니다.

고정밀 얼라인먼트 시스템(얼라인먼트 반복 정밀도 ±3μm)

• ORC 독자적으로 개발한 얼라인먼트 카메라용 고성능 렌즈와 조명계를 사용하고 있습니다.마크 인식 정밀도 향상으로 높은 위치 맞춤 정밀도를 얻을 수 있습니다.

분할 노광 기능

• 제품의 요구 정밀도에 맞추어 2/3/4/6 분할로 위치를 맞추어 노광이 가능합니다.분할 구역의 얼라인먼트로 종합 중첩 정밀도가 향상됩니다.