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電子回路基板の内層パターン形成ケミカルミーリング（エッチング加工パターン形成） |
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LED光源タイプ新登場平行光のUV-LED 光源タイプを新たにラインナップ。省エネに貢献。 |
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9.5秒＋露光時間（真空密着時間2秒含む） 「５枚/分」の生産性を実現した高照度ランプユニット 万全なクリーン対策で歩留り改善 |
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生産性向上
精度の安定化
光源バリエーション
充実したオプション
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製品仕様
Specification
| 型式 | EXP-2900P | EXP-2900P-LED | EXP-2900S | EXP-2900PE |
|---|---|---|---|---|
| 基板サイズ | 26"x22 ～ 13"x11.8" | 24.5"x28.5" ～ 13.5"x16" | ||
| 基板厚さ | 0.04 mm ～ 2.4 mm | 0.04 mm ～ 2.0 mm | ||
| 位置精度 | ±5 μm（繰り返し精度） | |||
| サイクルタイム | 9.5 秒（真空待ち時間2 秒含む）＋ 露光時間 | 11.0 秒 (真空待ち時間2秒含む) ＋ 露光時間 | ||
| 光学系 | 平行光 | 散乱光 | 平行光 | |
| 光源 | ショートアークUVランプ 5kW x2 | UV-LED ユニット x2 | メタルハライドUVランプ7kWx2 | ショートアークUVランプ 5kW x2 |
| 照度分布 | 610 ｘ 510 mm : 90% 660 ｘ 560 mm : 85% |
660 ｘ 560 mm : 85% | 610 x 710 mm : 85% | |
| 初期照度（最大） | 30 mW/c㎡ | 40m W/c㎡ | 25 mW/c㎡ | |
| 露光方式 | 真空密着方式 | |||
| 搬送方法 | 端面吸着パッド方式搬送 | |||
| 露光室冷却機構 | 温湿調ユニット | 冷凍機ラジエター | 温湿調ユニット | |
| 装置外形寸法（本体） | 2620(W) × 2825(D) × 2365(H) mm | 2620(W) × 2485(D) × 2365(H) mm | 2620(W) × 2824(D) × 2365(H) mm | 3200(W) × 2777(D) × 2365(H) mm |
| オプション対応 | ||||
| 自動マスククリーニング機構 | 内蔵クリーンローラー | |||
| カメラ移動機構 | 任意位置アライメントマーク対応 | |||
| マスクタイプ | ガラスマスク対応 | |||
| 低ランニングコスト（2 ラインの場合） | ダブルラインレイアウト（P,PEのみ） | |||
