高精度パターン用
|
LED光源タイプ新登場平行光のUV-LED 光源タイプを新たにラインナップ。省エネに貢献。 |
大サイズワーク対応 高照度ランプ |
位置決め精度向上
クリーン対応
ランニングコスト削減
大サイズ基板対応(Eタイプ)
LED 光源
|
製品仕様
Specification
型式 | EXP-2500 | EXP-2500-LED | EXP-2500E | EXP-2500E-LED |
---|---|---|---|---|
基板サイズ | (G)25" x 21" ~ 13" x 11.8" (W)26" x 22" ~ 13" x 11.8" |
28.5" x 24.5" ~ 15.7" x 13" | ||
基板厚さ | 0.04 mm ~ 2.4 mm (オプション: ~ 3.2mm) | |||
位置精度 | ±3 μm(繰り返し精度) | |||
サイクルタイム | 9.5 秒(真空待ち時間2 秒含む)+露光時間 | 10.5 秒(真空待ち時間2 秒含む)+露光時間 | ||
光源 | ショートアークUVランプ 5kW x1 | UV-LED ユニット x2 | ショートアークUVランプ 5kW x1 | UV-LED ユニット x2 |
照度分布 | (G)620 x 520 mm : 90% | 710 x 610 mm | ||
(W)650 x 550 mm : 85% | 90% | 85% | ||
初期照度(最大) | 30 mW/c㎡ | 27 mW/c㎡ | ||
露光方式 | 真空密着方式 | |||
搬送方法 | 端面吸着パッド方式搬送 | |||
温湿調機 | 標準装備 | |||
内蔵クリーンローラー | 自動マスク/ ステージクリーニング機構 標準装備 | |||
装置外形寸法(本体) | 5014(W) × 2530(D) × 2400(H) mm | 5494(W) × 2665(D) × 2440(H) mm | ||
オプション対応 | ||||
反転後クリーニング | 専用中間クリーンローラー( 反転部) | |||
搬送方法 | ブロワー+吸着板 | |||
マスクタイプ | ガラスマスク対応 | |||
カメラ照明 | 反射照明 |