露光装置:EXP-2500
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高精度图形用

 

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UV-LED光源新机型投入

平行光的UV-LED光源新机的投入,满足市场省能源的要求

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对应大尺寸基板

高照度光源

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對位精度高
      • 和以前的(EXP-2050)比,底片和基板的對位精度有了大幅度提高。
清洁对策完备
      • 标准规格配置了底片,台面自动清洁机构,高效HEAP过滤器,从而减少了因异物造成的产品不良。同时中间还可以设置清洁机(特注规格对应)
减少运营成本
      • 由于采用了一灯式高照度,长寿命的灯管,与以往机型相比运行成本可以大幅降低至1/2 以下a
对应大尺寸基板(E型机)
      • 有对应业界28.5” x 24.5”基板生产需要的新机型
LED光源
    • 平行光的UV-LED光源新机的投入,为节省能源做出了贡献
 
动画

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制品规格

Specification

型式 EXP-2500 EXP-2500-LED EXP-2500E EXP-2500E-LED
基板尺寸 (G)25" x 21" ~ 13" x 11.8"
(W)26" x 22" ~ 13" x 11.8"
28.5" x 24.5" ~ 15.7" x 13"
基板厚度 0.04 mm ~ 2.4 mm (特注: ~ 3.2mm)
位置精度 ±3 μm(重复对位精度)
生产周期 9.5 秒(含真空密接时间2 秒)+ 曝光时间 10.5 秒(含真空密接时间2 秒)+ 曝光时间
光源 短弧光UV灯5kW x1 UV-LED 灯组 x2 短弧光UV灯5kW x1 UV-LED 灯组 x2
照度分布 (G)620 x 520 mm : 90% 710 x 610 mm
(W)650 x 550 mm : 85% 90% 85%
初期照度(最大) 30 mW/c㎡ 27 mW/c㎡
曝光方式 真空密接方式
搬送方式 端面吸嘴搬送方式
温湿度控制器 标准装备
内置清洁滚轮 自动底片,台面清洁机构
装置外形尺寸(本体) 5014(W) × 2530(D) × 2400(H) mm 5494(W) × 2665(D) × 2440(H) mm
  其他特注规格
反转后清洁 专用中间清洁机(反转部)
搬送方式 鼓风机+吸引盒
对应底片 对应玻璃底片
CCD照明 反射照明

 

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