光で産業を支える 株式会社オーク製作所 ホーム
会社情報製品情報研究・技術ニュースリリース採用情報お問合せ

製品情報

Contents
放電ランプ/光源ユニット
UV-LED/光源ユニット
福祉医療衛生機器
UV照射装置
UV計測器
紫外線照度計・光量計UV-M03A
紫外線光量計UV-M10-P/Sシリーズ
紫外線光量計UV-351シリーズ
172nmエキシマUVランプ用照度計UV-M06
紫外線光量・照度計UV-M08
ダイレクト露光装置
半導体用露光装置
PPS Series
コンタクト露光装置
ホーム製品情報UV計測器 | 紫外線照度計・光量計UV-M03A

UV計測器


紫外線照度計・光量計UV-M03A

小型・軽量な、ハンディタイプ計測器です。紫外線ランプを搭載した装置を製造現場で管理する目的に適しています。紫外線ランプのUV照射量(照度・光量)管理にご使用ください。

◆ 特 徴

・  露光装置の照度光量の管理が手軽にできる小型・軽量のハンディタイプです。
・  紫外線照度と光量が手軽に測定できます。
・  受光器は、ご使用されている(ご使用予定の)光源とレジスト等の感度にあわせてUV−25,35,42用をご選択いただきます。ただし電子回路(プリント)基板の製造工程でお使いの場合にはUV−SN25,UV−SN35,UV−SN42を、半導体、液晶用基板の製造工程でお使いの場合にはUV−SD25,UV−SD35,UV−SD42をご選択されるように推奨します
・  測定データは、RS-232C通信出力を介して転送できます。
・  アナログ出力も備えています。

◆ SD型とSN型について

 SN型は古くから当社製の露光装置や照射装置等をお使いいただいているお客様に広く採用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。
 SD型は半導体や液晶用基板の製造プロセスの現場で、すでに他社製の照度計をお使いのお客様が、それらの計測器とのデータの互換性確保を重視される場合(当社製の露光装置でも投影型露光装置や液晶基板用の周辺露光装置にはSD型が採用されています)や、全く新規に照度計などをお使いになられるお客様に推奨しています。

◆ SD型とSN型の指示値について

 SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値(当社計測グループで校正用の放射源として使用している高圧UVランプの365nmの輝線を同一の測定条件で測定した時に示される照度の値: mW/cm 表示)に対して39%高く表示するように調整されています。

◆ 他社製照度計とのデータ互換性について

 可視光用の照度計(家庭・事務所・店舗・美術館などの明るさをLUX単位で測る照度計)と違い、紫外線用の照度計の全てに適用される規格は未だ整えられていません(ごく一部の限定された用途でJIS化の作業は行われているようです)。
 各社の相対分光感度は、365nmの輝線を主体とした光源による照度を測定する目的で作られていても、測定のピーク波長(相対分光感度特性が1で示されている波長)を初めとして、短波長側(300nm〜310nm前後)と長波長側(380nm〜400nm前後)の立ち上り、立ち下ろしの波長とその前後の曲線が少しずつ異なっています。
 またCOSθ特性と言われている受光器の持つ受光角特性も理想曲線に近づけようと、設計面で努力されていますが、中々実現されていないのが現実です。

◆ 仕 様

受光器(交換式) UV-SD35 (UV-SN35)
測定波長領域 310〜385nm
測定照度範囲 0.001〜50mW/cm2
測定光量範囲 0.001〜19999mJ/cm2
合わせ込み精度 当社UV標準器に対して±1.5%以内
繰り返し精度 ±1.5%以内

◆ UV計測器 受光器 分光感度特性

UV-SD35相対分光感度

UV-SD25相対分光感度

UV-SD42相対分光感度

製品に関するお問合せはこちら

◆ 関連製品

・  紫外線光量計UV-351シリーズ
・  紫外線光量計UV-M10-P/Sシリーズ
ページトップ
お問合せプライバシーポリシーサイトマップサイトポリシー Copyright