ホーム ｜ 製品情報 ｜ コンタクト露光装置 ｜ EXP-2031B 　EXP-2031B パターン・ソルダーの両工程に対応した分割露光機能搭載のハイエンドモデル ORC新開発の8kWショートアークランプの搭載により、初期照度85mW/c�uを実現。露光時間を従来モデルより約25％短縮しました。   長年培ってきたORCの光学技術により、ドライフィルムでL/S=12μｍ、ソルダーレジストで開口径Φ50μｍの高解像力を実現しています。   ORC独自開発のアライメントカメラ用高性能レンズと照明系を採用しています。 マーク認識精度の向上により、高い位置合せ精度が得られます。   製品の要求精度に応じて、2/3/4/6分割での位置合わせ・露光が可能です。 分割エリアごとのアライメントにより、総合重ね合わせ精度が向上します。   HEPAフィルターを搬送機構部と露光室に搭載。ダウンフローの最適化を図り、微細なパーティクルを排除します。また、新開発のクリーニング機構により、マスクフィルムや露光ステージの異物を取り除きます。