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대형 패널에 특화된 stepper |
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제품 사양
Specification
| 형식 | PPS-8500 |
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| 패널사이즈 | 510 x 515mm(Max) |
| 해상력 | 2.0 µmL/S(2.0 µm 레지스트 두께) |
| NA(개구수) | 0.16、0.1가변 |
| 축소비 | 1:1 |
| Field 사이즈 | 52mm × 33mm |
| 노광 파장 | ghi-Line gh-line i-line (레시피 연동) |
| 레티클 사이즈 | 6inch |
| 중첩 정도 | ≦1.0 µm(|Ave|+3σ) |
| 장치사이즈/중량 | （W）3,000×（D）4,800×（H）2,500mm / 11,000kg |
