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濡れ性、親水性、密着性の向上に最適なVUV（真空紫外）光を照射する装置です。特殊無水銀UVランプを搭載しているため熱ダメージが少なく、様々な照射対象の「表面改質」を行う事ができます。
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瞬時ON/OFF・単一波長・低温動作・水銀フリーが特徴の特殊無水銀UVランプを搭載しており、一般家庭のコンセントで使用出来るため、様々な場所で使用する事ができます。
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N2ガス導入・排気ポートを備えており、オゾンを発生させる事無く真空紫外光を照射する事が可能です。
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AC100Vコンセントでの使用が可能であり、様々な場所で利用できます。
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L350mmまでの様々なスマートエキシマランプを搭載出来るため、用途に合わせたランプの選定にご利用いただけます。
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光洗浄 |
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表面改質 |
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親水化 |
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光CVD |
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静電気除去 |
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低温直接接合 |
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蛍光体評価 |
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オゾン生成 |
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殺菌 |
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脱臭 |
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エキシマ照射装置（デモ機）
VUS-3100-R |
| 使用ランプ | 特殊無水銀UVランプ |
| ランプ寸法 | 〜L350mm |
| 有効照射範囲 | 320mm × 90mm |
| 電源 | AC100V 0.5A 50/60Hz共用 |
| 電力 | - |
| 外形寸法 | 147(W)×476(D)×60(H)mm |
| 重量 | 3.0kg(ランプ含まず) |
| 排気オゾン除去 | N2パージ |
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