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| EXP-2500 大サイズに対応し、光学系とステージを一新した高生産性・高精度パターン用モデル |
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大サイズ基板（26”×22” ）露光が高照度でできるため、優れた生産性を発揮します。※露光有効エリア24”×20” |
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| 新たに設計した光学系を採用し、解像精度が大幅に向上しました。また、ステージを一新した事により露光精度も向上しました。 | |
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| 従来機（EXP-2050）と比べワークとマスクの位置決め精度が大幅に向上しました。 | |
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| 高精度・長寿命のランプを用いた1灯式にすることで、ランニングコストを従来品の1/2以下に抑えました。 | |
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| 標準仕様のマスククリーニング機構が、HEPAフィルターとともに異物による製品不良を低減します。オプションで上下流間に中間クリーンローラーを設置できます。 | |
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