ホーム ｜ 製品情報 ｜ ダイレクト露光装置 ｜ Extra12 　Extra12 高精度と世界最速のタクトを両立するパターン用自動機のダブルステージモデル 高効率ワンパス光学系と低重心ダブルステージ構造を採用し、最大基板サイズ 635×535ｍｍにおいて6,000枚／日（260枚/時※１）のタクトを実現。バランスよく生産性と解像性のニーズに応えるモデルです。 ※１露光量10mJ/c�u相当のドライフィルム使用の場合   L/S=12μmの高解像性※２を実現。ラフピッチのパッケージ基板や次世代HDI基板のファイン水準に応えます。 ※２使用するドライフィルム・プロセス条件による   高剛性フレームと高性能ステージにより、位置決め精度±6μｍを実現。さらに要求精度や目的に合わせたアライメント機能が選択でき、エニーレイヤー化が進むHDI基板の製造に効果を発揮します。   データ分解能を0.5μmにすることで線幅の寸法安定性が向上。この分解能と200枚/時を超える生産性を両立できるのはORCだけです。   各種キャリブレーションを自動で行い、装置を安定稼働させます。   ■ 内層基板対応のUV ■ バーコード描画 ■ マーカ基板厚み計測機能 ■ D-A-Tアルゴリズム ■ ナンバリング ■ マルチアライメントシステム