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| 対象として考えている空間の清浄さの度合い。空気一定体積中に含まれる粒子汚染物の大きさ別の数によって表す。また、格付けされる清浄度の程度を清浄度レベルと表す。 【出典】 半導体製造装置用語辞典：社団法人「日本半導体製造装置協会」編集、日刊工業新聞社 発行 |
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| 対象として考えている空間の清浄さの度合い。空気一定体積中に含まれる粒子汚染物の大きさ別の数によって表す。また、格付けされる清浄度の程度を清浄度レベルと表す。 【出典】 半導体製造装置用語辞典：社団法人「日本半導体製造装置協会」編集、日刊工業新聞社 発行 |
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