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| 定格風量で粒径が0.3μmの粒子に対して99.97％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が一般に300Pa（30 mmH20）以下の性能をもち、一般にクリーンルーム給気の最終段階に用いられるエアフィルタ。 【出典】 半導体製造装置用語辞典：社団法人「日本半導体製造装置協会」編集、日刊工業新聞社 発行 |
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| 定格風量で粒径が0.3μmの粒子に対して99.97％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が一般に300Pa（30 mmH20）以下の性能をもち、一般にクリーンルーム給気の最終段階に用いられるエアフィルタ。 【出典】 半導体製造装置用語辞典：社団法人「日本半導体製造装置協会」編集、日刊工業新聞社 発行 |
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