点灯中の内部圧力が100Paを超えない金属蒸気放電ランプです。
光クリーニング、フォトレジストのアッシングやハードニング、光CVDなど表面洗浄、改質の分野で利用されます。

• 185nm,254nm紫外線を効率よく放射し、表面処理、改質に有効であり、照射によってダメージが少ないメリットがあります。
• オゾン発生用ランプ、オゾンフリーランプのどちらもご用意できます。
• U字型、ストレート型、面照射型の3種形状のものを取り揃えており、また特殊形状にも対応可能です。
• 発光長最大2500mmまでのものをご用意できます。