石英管の内側電極と外側電極の間に高周波電圧を印加して、放電管内の放電ガス特有のスペクトルを発光するランプです。
表面の高速な改質、洗浄が可能です。

• 当社のエキシマUVランプは、独自に開発した高効率なUV光源で各種材料の表面改質、精密洗浄、光励起プロセス用として、高スループット化を実現します。
• 発光長最大2500mmまでのものをご用意できます。