露光装置:EDiシリーズ
bg Edi-series 02
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阻焊膜的形成
  • FC-BGA基板/FC-CSP基板
  • AiP等各种模块板
  • HDI基板
各种感光材料的曝光
  • 底片过孔、覆盖层等
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  • 可以对应防焊开窗40um微细化的载板生产(EDi-5308)
  • 搭载了光量大幅提高的新UV光源,和以前的机器相比,最大提高了10%的生产效率。(EDi-8308)
  • UV光源的宽带频谱特性可以广泛对应各种感光材料
  • 高精度的D-A-T补偿技术和高精度的曝光台面使用,实现了6um的高描画精度(EDi-5308)
  • Die by Die对位功能有效的解决FO-PLP生产中的Die偏问题(特注功能)
  • 对应最大25”X32”的大尺寸基板生产 (EDi-8310)
 
动画

Movie

播放制品的关联动画

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曝光样品

Exposure sample

EDi-5308

SRO:Φ40μm

EDi-8308

SROΦ:80μm

制品规格

Specification

 光源解像性最大曝光尺寸综合描画位置精度
EDi-5308 UV Lamp SRO:Φ40μm 635x535 mm 6μm
EDi-8308 UV Lamp SRO:Φ80μm 635x535 mm 7μm
EDi-8310 UV Lamp SRO:Φ80μm 813x635 mm 7μm

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