ホーム
｜
用語集
｜ 光CVD
光CVD
エキシマレーザ、UVランプ、シンクロトロン放射光などの光エネルギーで材料ガスを光分解させ、発生したラジカルを基板上で再結合させて薄膜を形成させる技術。
戻 る
